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通过伺服技术提高晶圆测试产能

2020-09-08

一家业界领先以精密技术的制造商近期正在研发晶圆测试检测设备,以用于半导体行业高度自动化高通量的晶圆测试。该设备有一个 XY工作台,包含总共15轴,其中有4个轴采用了Elmo的驱动器,为设备提供关键性的高性能运动控制。Elmo的Platinum Maestro运动控制器作为主控制器,控制所有轴的运动。

从各方面来看,Elmo的整体解决方案足以证明其优越性。 Elmo 拥有比竞争对手更好的伺服驱动器和运动控制,能使移动之间的稳定时间控制在10毫秒之内(特殊的可达30ms)。这是卓越的伺服驱动和多轴控制能力综合的结果,意味着每次探测间隔时间更短,更高的综合生产能力。


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